- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
노광제어장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노전광 |
| 모델명 | NEO-SC-470P |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)에이티에스엔지니어링 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 노광공정 장치를 제어하는 시스템으로 PLC와 각종 센서들이 연결되어 노광공정기기의 제어를 하는 장치임 조작용 화면을 통해 각종 장치의 상태를 모니터링할수 있으며 제어가 가능하다. 노광의 시간을 설정하여 유리기판을 마스크에 밀착하여 자외선램프를 조사하는 시간을 제어하는 장치유리기판을 흡착하도록 제어 노광의 시간을 프로그램하여 실험을 자동반자동 동작제어 마스크를 고정하게 하는 장치제어 마스크와 유리기판의 간격을 조정하는 장치제어 노광시 마스크와 유리기판의 간격 제어 노광시 셔터부 구동 제어 노광시간을 조정설정 제어UV발생장치 및 ALGN조정 장치등을 제어하여 노광공정을 진행하도록 제어하는 장치 주전원 분배를 통해 각종 부품들에 전원을 공급하며 LAMP의 온도를 모니터링하여 N2 또는 CDA를 이용하여 환기를 시켜 장비의 상태를 유지하며 비상시 즉시정지하느 스위치등으로 구성되어 있음. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201210/.thumb/20121005135719.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 성남시 분당구 야탑동 68번지 전자부품연구원 창업동 3층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174730 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036850 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |