- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
엑스선 광전자 분광분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Thermo Scientific |
| 모델명 | K-Alpha |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B521 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 광전자분광기는 시료의 표면에 특성 X-선을 입사하고 이때 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료 표 면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선을 사용함으로써 절연체에 적용이 가능함으 로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 있어 큰 장점을 가지고 있다. 또한 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 분포도를 측정할 수 있다.Double-focusing hemispherical analyzer Multi-element high-transmission spectrometer input lens 128-channel detector for high quality Energy range : 200 eV to 3 keV High flux even at low beam energy 250 mm Rowland circle monochromator1) Analysis of organic compounds - 유기화합물의 분석 2) Analysis of thin film - 박막 분석 3) Depth profile - 깊이 프로파일 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201209/.thumb/20120926143152.jpg |
| 장비위치주소 | 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50 울산과학기술대학교 자연과학관 지하1층 B117 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-171021 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035079 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |