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장비
장비 및 시설 기본정보
클린 후드 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 로맥스시스템 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-01-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 미세소자(센서 FET 등) 제작 시 polymer와 photoresist의 coating 및 baking 시 발생하는 유기 배기를 위함 - Spin coater 및 hot plate를 설치하기 위함 - Photoresist와 같은 materials의 내장 보관을 위함1) Size(mm): 1800x1200x1985 이내 2) Frame: SS41 square pipe frame with anti-corrosive paint coated 3) Body: Press Ivory PVC 10t 5t covering 4) Pipe plumbing: PFA tube & C-PVC PVC pipe 5) Anti Static N2 Gun & 0.01um filter 1set 6) Work Plate: LDPP 7) Up/Down Slide Door Open 8) Regulator: N2 or CDA 9) Lamp: Yellow 20W 2ea 10) Consent: 220V 2구 110V 2구 11) Drain line: Local line 12) Exhaust Line & Damper 13) Controller: S/W control panel |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120731165149.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-168054 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034438 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |