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장비
장비 및 시설 기본정보
이온빔밀링기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | 691 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | The PIPS Ion mill is a user-friendly tabletop Precision Ion Polisher System designed to produce high quality TEM specimens with large electron transparent areas. The PIPS incorporates patented Whisperlok stage 2 unique penning ion guns with 10 to -10 milling angles variable energy milling (down to 100eV) liquid nitrogen specimen cooling and an oil-free vacuum system for ultra-clean specimen processing.Ion Guns : Two penning ion guns Milling Angle : +10 to - 10 Ion Beam Energy : 100eV to 6.0keV Size : 300mmW * 200mmD * 125mmH Shipping weight : 10kg Power requirements : 100VAC - 240VACIon milling is used on physical science specimens to reduce thickness to electron transparency - Si 기반 웨이퍼의 단면 및 평면관찰용 시편제작 - Non-Si 기반 웨이퍼의 단면 및 평면관찰용 시편제작 - 금속 세라믹 벌크재료의 TEM 분석용 시편제작 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201209/.thumb/20120926174031.JPG |
| 장비위치주소 | 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50 울산과학기술대학교 자연과학관 1층 B111 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-170902 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035094 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |