| 보유기관명 |
재료연구소 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C506 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
세라믹 타겟을 이용한 복잡조성의 세라믹 박막을 성장시키기 위한 장비로써 248nm의 파장을 갖는 KrF Excimer laser를 이용하여 진공챔버 내에서 laser plasma를 발생 적절한 기판에 고품위의 박막을 증착시키는 장치임.KrF Excimer laser는 laser plasma를 발생하여 박막을 성장시키는 용도 이외에 박막의 후열처리 용도로 사용 가능하여 잔류응력 제거 grain의 성장 배향성 향상등의 목적으로 활용 가능.본 장비를 이용하여 다강성 박막소재의 증착 및 개발 자기열량소재 합금설계 그리고 전고체 이차전지의 박막형 전극 및 전해질의 개발 등에 활발한 연구활용성이 예상되며 타 연구부서와의 협력연구도 가능함. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201504/.thumb/2015041318836150.JPG |
| 장비위치주소 |
경남 창원시 성산구 상남동 66번지 재료연구소 연구 1동 4층 1438 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-07-167826 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034215 |
| 첨부파일 |
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