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장비 및 시설 기본정보
비접촉식 두께측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Mti Instruments |
| 모델명 | PV-1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-02-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)비나텍 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Up to three thinkness channels per rack - Exclusive MTII Push/Pull probes work with all wafer type - Min max avg and total thickness variation measurements - Bow measurements (3 probe pairs required) - Optional sensors for measuring wafer resistivity - Integrated data acquisition and control electronics - Fast Ethernet com port-production rates up to 7 water per/sec - Digital I/O for interface with water handling equipment Measurement Range: 2.5mm Thickness (Accuracy): +/-0.25um ASTM F533 (Repeatability): 0.10um Distance Between Sensors: 5.0mm Measurement Spot Size: 12.0mm Probe Length: 10cm |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201209/.thumb/20120906154933.jpg |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 팔복동2가837-1(주)비나텍 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-169783 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034815 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |