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듀얼집속이온빔장치

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A200
표준분류명
시설장비 설명	Dual Beam Focused Ion Beam system - 접속 이온빔의 식각 특성을 활용하여 미세 영역의 단면을 가공 후 전계 방사형 전자현미경으로 단면 이미지 관찰 성분분석 등의 다양한 분석 작업을 가능하게 해주는 장비 - 고난위도의 기술을 요하는 투과전자현미경용 시편가공이 가능함.- Ion Optics ·ion source : liquid Ga ion emitter ·lens system : low abberation 2-stage electrostatic lens - Electron optics ·electron source : ZrO/W schottky emmission ·lens system : 3-stage electromagnetic lens Super E cross B filter system.- 듀얼집속이온빔장치는 미세구조의 단면 관찰이 가능하며 특히 초 저진공 기능이 포함되어 있어 비전도성 및 바이오 샘플의 코팅 없는 관찰을 가능하여 여러 연구개발 분야에서 활용 되고 있음.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121115172903.jpg
장비위치주소	대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 1층 102
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-174968
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035839
첨부파일