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장비
장비 및 시설 기본정보
웨이퍼 건조기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유비텍 |
| 모델명 | SRD-200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-03-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C528 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 미세소자(센서 FET 등) 제작 시 습식 식각 공정 후 세정 및 건조 목적으로 활용되는 연구개발 장비입니다.- process : 4” 6” - max : 1run 25ea - Max RPM : 2800 RPM - Nitrogen(N2) Flow: 113~170l/min - DI Water : Flow : 5.7~7.6l/min - Monitor Type : Digital & Touch Panel - Runs SRD Style : PLC Control - Wafer Size : 4 inch & 6 Inch - Cassette type : TeflonSRD-200 웨이퍼건조기는 식각 공정 후 세정 및 건조를 자동으로 진행 할 경우에 사용되는 연구개발 장비 입니다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121115144832.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-176618 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035833 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |