주사탐침현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 파크시스템스 |
모델명 | XE-100 |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-05-23 |
취득금액 |
보유기관명 | 경상대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A208 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | Contact AFM Dynamic Contact AFM True Non-contact AFM LFM Phase Imaging Force vs. Distance curve Conductive AFM I/V Spectroscopy Closed Liquid Cell with Heating/Cooling stage Open Liquid Cell Heating Stage .미세한 힘에 의해서도 아래위로 휘어질 수 있는 캔틸레버를 이용하여 시료의 표면을 Scanning한다. 캔틸레버 끝에 달린 첨예한 탐침끝의 원자와 시료 표면의 원자사이에 서로의 간격에 따라 인력과 척력이 작용하는데 이를 이용하여 시료 표면을 Scanning하는 것이다. 표면관찰/I-V 측정 MFM/EFM/Contact Non-Contact AFM 반도체 소자 물성 특성 박막 표면 상태 측정 Bio 소자/ Bio물질의 상태 측정 주사 탐침 현미경은 나노 크기 정도의 매우 예리한 바늘을 달린 캔티레버(Cantilever probe)가 시료 표면을 비행할 때 시료 표면의 원자와 탐침 끝의 원자 사이에 작용하는 원자력을 감지함으로써 시료의 형상을 측정하는 3세대 현미경으로 불리는 나노 현미경이다.또한 대기중이나 액체 속에서도 동작이 가능하여 응용 분야가 매우 다양하다. 특히 탐침의 기능과 특성에 따라 재료 소자 바이오 기술 분야 등에서 영상 분석 전자기 분석 조작 연구의 핵심 도구로 활용되고 있다. 여기에 나노 탐침은 매우 예리한 팬이나 판화에 사용되는 칼 잉크젯 프린트의 노즐과 같은 역할을 할 수 있으므로 나노 세계를 조작하고 정보를 저장하거나 프린팅하는 기술에 활용될 수 있다. 또한 나노 탐침의 끝으로 전류를 흘려 시료를 전기 화학적으로 산화 시켜 물질을 변화를 시킬 수 있는 나노 리쏘그라피 기술에 적용될 수 있다. 이런 이유로 주사 탐침 현미경은 향후 나노 바이오 기술 발전에 큰 기여를 할 수 있는 핵심 기술로 평가되고 있다.수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제 고속구동 가능한 수직(Z) 스캐너 ( 최대 주파수 : 3 kHz ) - 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도 - True Non-Contact Mode 측정 가능 * Tapping Mode로는 측정할 수 없는 Soft 샘플 등 측정 가능 수직(Z) 스캐너 축에 일치된 광학 현미경 - 측정 위치 찾기 / 위치 이동에 편리 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121115092903.JPG |
장비위치주소 | 경남 진주시 진주대로 501 경상대학교 자연과학대학 화학과 352동 2층 230호 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174160 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035802 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |