| 보유기관명 |
성균관대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A206 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
주사전자현미경 (Scanning electron microscope (SEM))으로서 일본 JEOL 사의 모델명은 JSM-6510 임. 수량은 1대이고 구매 금액은 100000000원임. 장비는 주사전자현미경 외에 sputter coater system cooling water circulator automatic voltage regulator로 구성되어 있음.수동 stage로 구성되어 있으며 secondary electron image와 backscattered electron detector를 통한 분석이 가능하며 모드에 따라 composition topographic mixing이 가능함. Magnification은 x5~x300000의 분석능을 총 149 단계로 나뉘어 확인할 수 있으며 Resolution은 3.0 nm (30kV) 8.0 nm (3kV) 15 nm (1kV)까지 가능함.
비파괴적 분석 빠른 분석시간 및 고배율까지 물질 분석 가능함.일반적인 주사전자현미경으로 마이크로 및 나노크기 물질의 형태나 미세 구조 표면 특성을 위한 분석용이며 0차원 1차원 2차원 3차원 나노 구조체의 구조 분석이 용이하고 다양한 나노 패턴 및 나노 구조의 분석 그래핀(graphene) 박막 필름 구조 특성 분석 등에 쓰일 수 있음. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201203/.thumb/20120326134218.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제2공학관 4층 25406 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-03-158267 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031756 |
| 첨부파일 |
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