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글라스 기판 클리너

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보유기관명	LG이노텍
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C502
표준분류명
시설장비 설명	공정 초기 기판 cleaning 공정을 진행하기 위한 장비 * Glass / Flexible Substrate 공용 Inline Cleaner Initial PI 후 Rubbing 후 등 각 Step 전 후 Cleaning 실시할 때 안정성 및 효율을 높여주는 클리닝 장비1. Glass Size :200 * 200 (Film 겸용{Jig 사용}) 2. Glass Direction : 협의 3. Tact Time : 협의 4. Pass Line : 임의 5. Rinse 1) 종류 : DIW / 세정액 2) 온도 : 상온 6. 반송 방식 : 수평 반송 *Process Flow 1.입구 컨베이어 벨트 2. Roll Brush 3. 이류채 4. Rinse 5.Air Knife 6. 출구 컨베이어 벨트 특징 1. 유리기판이나 Substrate 초기 세정 2. 전면적에 동일한 압력으로 진행
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201204/.thumb/20120402185805.jpg
장비위치주소	경기도 안산시 상록구 사3동 1271번지 한양대학교내 LG이노텍 LG소재부품연구소
NFEC 등록번호	NFEC-2012-03-160520
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032612
첨부파일