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장비
장비 및 시설 기본정보
MEMS 센스 특성평가 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keithley Instruments |
| 모델명 | 4200-SCS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 기술적 측면 - 외부 환경제어(진공 특수 기체 온도변화 등)가 필요한 MEMS sensor의 경우 패키징을 하지 않은 웨이퍼 상태에서 MEMS sensor의 실제 동작 특성 평가가 가능 - 신물질(Nanowire Graphene Nano Cluster...)을 포함한 나노소재의 진공 및 외부 분위기상태에서의 전기적 특성 평가가 가능 - 소자의 high speed 전기적 특성 평가가 가능하여 low noise high speed 소자 개발에 활용가능. - RF 소자의 time constant 측정이 가능하여 RF 소자 모델 개발에 활용가능 - Bolometer를 비롯한 소자의 self heating 특성 평가 가능Signal analyser 1) Analog bandwidth 400MHz 10GS/sec 2) Input channel 4ea - High speed I-V meter 1) current ~1uA에서 usec scale integration time 측정 가능 2) nsec scale sampling time 제공 - Vacuum probe station (가격 조건에 따라 후속 진행예정) 1) High vacuum system : 5E-6 torr 2) 진공 & 온도(-60 ~100℃) 조절 가능 3) probing port를 이용한 8“ wafer 측정 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201203/.thumb/20120330222851.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 지하1층 센서평가실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-160530 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032632 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |