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장비
장비 및 시설 기본정보
투과형 전자 현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JEM-ARM200F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A205 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 200kV의 가속전압을 가지는 구면수차보정 주사투과전자현미경으로 가속된 전자가 시편을 통과하여 발생하는 상호작용을 이용하여 원자분해능을 가지고 미세구조 분석 전자회절을 이용한 결정구조 분석 그리고 에너지분산분광기 에너지손상분광분석기를 이용한 원소분석이 나노영역에서 동시에 가능한 장비임.가속전압 : 200 kV - 점 분해능 : 0.20 nm - 격자 분해능 : 0.1 nm - STEM 분해능 : 0.08 nm - 전자총 : ZrO/W(100) thermal field emission type - Spot size - TEM mode : 2 ~ 5 nm dia. - EDS/NBD/CBD mode : 0.5 ~ 2.4 nm dia. - 배율 - TEM LOW MAG mode : x50 ~ 6000 - TEM MAG mode : x2000 ~ 1500000 - TEM SA MAG mode : x8000 ~ 800000 - STEM MAG mode* : x20000 ~ 150000000 (need STEM) - STEM LOW MAG mode*x100 ~ 15000 (need STEM) - 시편경사각 : X/Y : ± 35˚ / ± 30˚ - EDS Solid angle : 0.28 sr. (with 30mm2 EDS detector) - 기록장치 - US 1000 CCD Camera (Gatan Inc.)미세구조 분석 - TEM : BF DF HRTEM - STEM : BF ABF ADF HAADF - 결정구조분석 : 선택영역전자회절패턴 수렴빔전자회절패턴 - EDS 성분 분석 : 점 선 면 분석 - EELS 성분 분석 : 점 선 면 - 전자선 홀로그래픽분석 : 전기장 자기장 분포 분석 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201203/.thumb/20120330221845.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 지하1층 구조분석실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-160529 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032631 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |