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장비 및 시설 기본정보
박막두께측정장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST-4000-DLX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-03-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)퀀텀디바이스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 두께측정 장비는 반도체 평판디스플레이(LCD/PDP) 나노 기술 전자재료특수필름 등의 연구개발 또는 생산공정 과정에서 얇은 막의 두께를 측정하는 장치입니다. 예를 들어 반도체 공정에서는 절연막 전극 보호막 등 여러 층의 막을 올리거나 식각 등을 통해 미세회로를 제작하며 이 때 각각의 막의 두께가 설계도와 동일하게 구현되어야 반도체가 제대로 작동하는데 박막두께측정장비는 초미세 막의 두께를 측정하여 반도체의 양품 여부를 관리하는 장치입니다. 박막두께를 측정하는 방법은 여러 가지 방식이 있습니다. 그 중에서 탐침을 이용하는 기계적인 방법 현미경을 이용하는 방법 광학적 방법 세 가지가 가장 일반적인 방법입니다. 이 장비는 위 세 가지 방법 중에 광학적인 방법으로서 박막의 표면에서 반사되는 광과 하부의 계면에서 반사되는 광 사이의 간섭현상 또는 광의 위상차를 이용하여 박막의 특성을 결정하는 것입니다. 따라서 이 방법을 이용하면 박막의 두께 및 조도는 물론 광학적 상수도 측정할 수 있습니다. 특히 박막이 투명하고 광간섭성을 유지할 수 있다면 어떠한 종류의 시료라도 측정할 수 있으며 다층 박막구조라 하더라도 수학적인 계산에 의해 각각의 박막 두께를 측정할 수 있는 장점을 가지고 있습니다. 측정 시료의 표면을 손상하지 않으면서 측정이 용이하고 빠른 속도로 수Å에서부터 수십㎛ 수준의두께를 측정할 수 있습니다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201204/.thumb/20120413112413.JPG |
| 장비위치주소 | 경기도 화성시 반월동 295-4 (주)퀀텀디바이스 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-04-168762 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032839 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |