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장비

수직 열처리 시스템

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C601
표준분류명
시설장비 설명	각종 소자(센서 FET 등) 제작 시 기판을 고온에서 열처리할 수 있는 장비* Heater Chamber - Flat Zone : 300mm@1100℃±0.5℃ - Using Temp : 600℃~1250℃ / 22 KW ± 10% - Max Temp : 1300℃ - Max ramp up rate : 30℃/min - Heater control Zone : 3 zone - Control Mode : Spike control Cascade control - Heater material : Kanthal A1 * System controller : PLC control automatic control - PLC Programmable Process recipe * Gas : N2 O2 He * Quartzware parts - Process Tube : 1 ea - Quartz process boat : 1 ea(각 4“ 6”) * Process Uniformity - Flat zone : 400mm@1150℃±0.5℃ - Dry oxidation : within wafer wafer to wafer run to run (±3%)
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120731160441.jpg
장비위치주소	대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205
NFEC 등록번호	NFEC-2012-07-168120
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0034431
첨부파일