| 보유기관명 |
서울대학교 산학협력단 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
A408 |
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
박막의 흡수 투과 반사 특성을 이해하는데 있어서 물질의 광학 상수를 아는 것은 필수적이다. 본 장비는 이러한 박막의 광학상수를 올바르게 측정할 수 있는 유일한 장비이며 이 외에도 물질의 광학 밴드갭을 측정할 수 있는 일체형 장비이다. 이 장비를 이용하면 빛의 파장별로 박막의 광학 상수를 모두 추출 할 수 있으며 현미경을 이용한 직접적인 방법 이외에 박막의 두께를 결정할 수 있는 가장 정확한 분석 기기이다. 또한 다층 박막계에서도 각 박막의 두께 및 광학 특성을 매우 정밀하게 측정 할 수 있기 때문에 실질적인 소자의 분석에도 사용할 수 있는 실효성이 높은 장비이다.- 측정파장범위: 193nm ~ 1690nm - 엘립소미터 형태 : RCE (Rotating Compensator Ellipsometer) - 시편 측정 형태 : 수평형 - 측정 소요시간 : ~수 초 - 정확도 (Accuracy) : Ψ = 45.00o± 0.075o Δ=0.00o± 0.015o - 광원 : Xenon lamp (Collimated Light beam) - 해상도 : 1.6nm (UV-VIS) 3.2nm(NIR) - Focusing : 30μm diameter - Software : 5-Site License for CompleteEASE software
|
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013101114174254.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104-1동 (반도체공동연구소교육관) 1층 107 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-03-155074 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031208 |
| 첨부파일 |
|
