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장비
장비 및 시설 기본정보
플라즈마 발생 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Aixtron |
| 모델명 | Black Magic |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-01-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | nullPlasma generator Max voltage current power = 800V 2.5A 1kW Type = dc + variable frequency (1-100kHz) Control = simultaneous voltage current power regulation selectable frequency selectable reverse time Power supply parameters = unlimited storeable parameters on-the-fly configurable or loaded during recipe Control system Manual operation and Automatic recipe execution using time based or event based programming Integrated recipe editor Recipes with variable parameters for users Real time video of process System data/parameter recording Consumables recording Logging of actions Remote monitoring and recipe execution over TCP/IP (needs remote workstation) Control server Rackmount server with Intel Quad-core CPU 2Gb RAM 2 x 500Gb SATA HDD LAN DVI DVD-RW floppy drive USB card reader Monitor with 1920x1080 resolution Carbon CVD growth시 plasma를 발생시킴 Gas Ion에 field 를 주어 수직의 CNT growth 에 사용 표면 etching효과를 주어 불순물질 생성을 최소화하는데 사용null |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201510/.thumb/201510011002332.jpg |
| 장비위치주소 | 대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-162363 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031715 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |