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장비
장비 및 시설 기본정보
박막두께측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST-4000-DLX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 비접촉 비파괴식으로 박막의 두께 측정이 가능함 2. 빠른 측정시간과 간편한 작동이 가능함 3. 측정 결과에 대한 재현성이 우수함 4. 두께 및 N K 값의 측정이 가능함 5. 다층막 측정이 가능함1. Wavelength : 400 ~ 800nm 2. Detector : 2048 pixels 3. Theoretical resolution : 1nm 4. Spot size : 20 ~ 40μm 5. Measurement speed : 1sec/point 6. Measurement range : 10nm ~ 50um 7. Multi-layer measurement : up to 3 layers1. Measuring film thickness by optical method 2. 굴절율(N K) 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201510/.thumb/20151001101122645.jpeg |
| 장비위치주소 | 대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-157687 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031722 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |