| 보유기관명 |
한국전자통신연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C604 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
본 장비는 glove box와 thermal evaporation system이 결합된 장비임. 공기 안정성이 낮은 유기 소자(OTFT memory digital circuit 등) 제작에 필수적인 장비이며 수분과 산소의 함량 및 센서의 감지도가 1 ppm 이하를 측정 유지할 수 있으며 특히 glove box내부의 particle 농도를 최소화 하여 불순물을 없앨 수 있는 laminar flow system이 있어 우수한 성막 형성이 가능함. 또한 성막 후 전극 형성 공정을 위하여 시료가 thermal evaporation system으로 이동 과정에서 대기중으로 노출되어 공기 안정성이 낮은 유기 소자의 경우 신뢰성을 갖는 동작 특성 확보에 어려움이 많음. 이에 이러한 요구사항을 만족시킬 수 있는 신규 장비를 구매함 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201205/.thumb/20120524143635.JPG |
| 장비위치주소 |
대전 유성구 가정동 한국전자통신연구원 161 한국전자통신연구원 2동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-05-163459 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033080 |
| 첨부파일 |
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