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장비 및 시설 기본정보

전극 접합로

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 나노아이오닉스코리아
모델명 NI-OS-F10D
장비사양
취득일자 2011-03-22
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 강원테크노파크
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C601
표준분류명
시설장비 설명 히터와 단열재가 W Metal로 제작되어 Clean한 소성조건에 적합하고 목표온도까지 승온 냉각이 각각 2시간 이내에 가능하여 단기간 소성이 가능함.
사용온도 : 2000℃(진공 H2 Ar)- 방식 : Top Loading Type 전기 저항가열
- Heater : Tungsten Mesh Heater
- 단열재 : “Tungsten+Moly 조합단열재” 12겹
- 로 본체 : SUS304 수냉이중식 Round Chamber
- 분위기 : Vacuum H2 Ar
- 로 내부 가열 치수 : 140Dia × 290H(mm)
- 진공 system : 8" Diffusion Pump Rotary Pump
- 로 내 온도 제어장치 : 온도 Control용 열전대 “C" type with Mo sheath 2 color(s) optical pyrometer
- After Burner
- 산소분압 측정장치- 방사온도계 View Port 오염 체크
- 로내 히터 단열재 써머커플 정상 확인
- Door open은 로 내 온도가 100℃ 이하 상온일 때 연다. Open 전에는 반드시 클램프 4개를 확실히 풀어 놓는다.
- 사용가스는 고순도 가스를 권장한다(히터 수명 관련)
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110824163625.jpg
장비위치주소 강원 강릉시 대전동 898-1번지 강릉과학일반산업단지 신소재지원센터 2층 복층
NFEC 등록번호 NFEC-2011-08-147728
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029712
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)