장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

반도체검사기

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	본 장비는 마이크로/나노 센서 또는 엑츄에이트의 특성해석과 테스트를 위하여 다양한 계측장비와 연결이 가능하도록 최대한 개방적으로 활용한다. Impedance Analyser를 이용하여 센서의 Impedance를 측정할 수 있으며 I-V 측정 장치에 연결하여 트랜지스터의 특성을 해석할 수 있다.1. Probe station Main body (8 inch vacuum chuck / Z Stage Unit / 8"x8" X-Y Stage Unit / 2"x2" X-Y micrometer Translation manual type) 2. Microscope (Maximum : 100 X)_CCD Zoom Camera 3. CCD Camera C-mpunt 4. A. High Positioner : ~ 1 fA Holder Less than 5. Probe Holder_C Type 6. Probe tip 7. Vacuum pump 8. Vibration Table_Air Compressor 9. System Control PCLaser Doppler vibrometer와 Probe station을 연결하여 마이크로 트랜스듀스의 진동을 측정할 수 있다. 이와 같이 다양한 연구 분야 및 교육 분야에서 본 장비는 활용성이 높다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110907115835.jpg
장비위치주소	대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 2연구동 2층 212A
NFEC 등록번호	NFEC-2011-09-148412
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029852
첨부파일