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장비
장비 및 시설 기본정보
단차 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-04-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 영남대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Surface Profile Measuring System Sample Stage and Measurement Computer and Sample Viewing System Vibration Isolation TableScan Length: 10 mm Scan Speed: 2 μm/sec to 200 μm/sec Step Height Repeatability: 7.5 ？ or 0.1% Typical Repeatability : 4 ？ 1 sigma Vertical resolution : 0.1 ？ or under 1 ？ Theta resolution : more than 0.01°. Step Height Metrology : 10 nm to 2 mm vertical range and up to 10 mm in scan length. Vertical Range/Resolution · Standard : Vertical Range 550 μm Max Step Height ~500 μm 20 μm/0.012A 550 μm/0.328A · Addition : Vertical Range 2000 μm Max Step Height ~1900 μm 20 μm/0.012A 550 μm/0.328A 2000 μm/1.1 9A Scan Length: 10 mm Scan Speed: 2 μm/sec to 200 μm/sec Step Height Repeatability: 7.5 ？ or 0.1% Typical Repeatability : 4 ？ 1 sigma Vertical resolution : 0.1 ？ or under 1 ？ Theta resolution : more than 0.01°. Step Height Metrology : 10 nm to 2 mm vertical range and up to 10 mmLED chip 공정과정에서의-박막의 두께를 측정하며 표면의 거칠기 및 상태 확인 가능 접촉식 측정 방식으로 박막의 표면을 scanning 가능 Alignment pins for wafers 2”to 6”사용 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111027192950.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 경산시 대동 영남대학교 214-1번지 영남대학교 CRC 1층 102호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-10-149894 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030209 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |