- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
핫 플레이트 스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fito |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 삼성전기 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C527 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 미세패턴 형성을 위한 Pre Bake 장비. 반도체 웨이퍼 Printed circuit board 고집적 세라믹 모듈 기판 등의 fine pattern 공정에 적용 가능함. - 구성 : 히터전장부판넬조작부 chamber - 성능 : Maximum 온도 200℃까지 상승이 가능하고 chamber 내부에 장착된 12 inch 사이즈 기판의 온도 편차가 ± 2℃ 이내로 유지되어 균일한 온도구배를 가지고 있는 장비임. 또한 Recipe에 의한 program 설정으로 Auto 작업이 가능하게 되어 있음.반도체 웨이퍼 Printed circuit board 고집적 세라믹 모듈 기판 표면에 미세패턴을 형성하기 위해 PI & PR을 도포한 후 exposure를 하기 위한 Pre Bake 작업을 하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110921130529.JPG |
| 장비위치주소 | 경기 수원시 영통구 매탄3동 314 삼성전기 B9 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-09-148895 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030010 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |