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전자빔증착기

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보유기관명	영남대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명
시설장비 설명	Metal Lift-off for GaN epiwafer. Alloy metal coating Multi layer or monolayer materials coating Wafer Stage (substrate holder) CAPACITY : 2” Sapphire Si GaN Wafer Loading (42 Pocket Tray) 4" Sapphire Si GaN Wafer Loading (5 Pocket Tray) 6“ Sapphire Si GaN Wafer Loading (3 Pocket Tray) FILM DEPOSITION UNIFORMITY : ±5% 이내(STD DEV.) WITHIN WAFER WAFER TO WAFER RUN TO RUN E-BEAM SOURCE 6 PKT 25CC ROTATABLEE-BEAM SOURCE 6 PKT 25CC ROTATABLE E-BEAM SOURCE 10KW POWER SUPPLY WITH PROGRAMABLE XY SWEEP TUNGSTEN CRUCIBLE LINER(25cc): 2 EA COPPER CRUCIBLE LINER(25cc) : 6 EA GRAPHITE CRUCIBLE LINER(25cc) : 10 EA QCM CONTROLLER 4 CHANNEL TYPE / COMPUTER INTERFACE CONTROL RIGHT ANGLE CRYSTAL SENSOR HIGH RESOLUTION ±0.03Hz AT 10 READING/SEC Pumping Station PROCESS CHAMBER : CRYO + ROTARY ULTIMATE PRESSURE : BELOW THAN 5 x 10-7 Torr BELOW THAN 2 x 10-6 Torr WITHIN 30min. AT INTIAL PUPMPING Vacuum Gauge Controller with Vacuum Transducer
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111028102126.jpg
장비위치주소	경북 경산시 대동 영남대학교 214-1번지 영남대학교 CRC 1층 CRC 클린룸 (102호)
NFEC 등록번호	NFEC-2011-10-149782
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030220
첨부파일