| 보유기관명 |
한국과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A410 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
Nd:YAG 고체 레이저 시스템 입니다. 532 nm 파장을 가진 그린(green) 레이저이고 pulse duration 은 5ns 으로 아주 짧은 시간입니다. frequency 는 최대 20Hz 입니다. 532 nm 파장에서 흡수율이 높은 thin film 의 레이저 결정화를 위해서 구입한 장비 입니다. 보통 nanosecond 의 pulse duration 을 가진 레이저 장비들은 대체로 30ns 전후 또는 100~200ns 정도의 pulse duration을 가집니다. 5ns 정도의 아주 짧은 pulse duration 을 가진 레이저로 결정화를 한 연구들은 많이 보고되지 않았습니다. pulse duration 이 짧기 때문에 플라스틱 기판위에서 열처리 공정이 가능합니다. 따라서 플라스틱 기판위에서 결정화가 필요한 thin film 의 열처리가 가능하고 laser 의 shot 횟수에 따라서 microstructure 가 어떻게 변화는지 또는 물성 변화에 관한 연구가 가능합니다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/20130904105620166.jpg |
| 장비위치주소 |
대전시 유성구 구성동 373-1번지 교육지원동 2200호 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-11-151697 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030458 |
| 첨부파일 |
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