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장비
장비 및 시설 기본정보
마스크노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-400S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-10-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Mask Aligner & Ecposure system - Manual PLC Touch Control system - sample size : Max 6" wafer - Mask size : up to 7" * 7" - UV Exposure Light source whit 350Watt Power Supply - Dual CCD zoom Microscope and LCD (19") Monitor - Alignment Tooling Module whit X.Y.Z and Theta motion - Wedge Error Compensation (Leveling plate type) - Dimension : 1000(W) *950(D) * 1750(H) mm - Weight : 250kg - Warranty : 1year 규격 - 본장치는 UV Light을 조사하여 웨이퍼 또는 샘플에 패턴을 생성하는 마스크 노광기 구성 - Mask Aligner & Exposure System - 현미경 - Manual PLC Touch Control system - vibration Isolation Table |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201201/.thumb/20120119094400.jpg |
| 장비위치주소 | 경남 창원시 성산구 상남동 66번지 재료연구소 연구 3동 3층 3301 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-01-152679 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030820 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |