- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코셈 |
| 모델명 | CX-200TM |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계전기전자시험연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 주사전자현미경을 이용한 시료의 확대 관찰-x10 to x300000 까지 확대해서 신뢰성 시험후 부품 파괴 및 손상 등 관찰함1. Resolution : 3.0㎚ at 30㎸ or more 2. Magnifications : x10 to x300000 or more 3. Electron Optics 1) Electron beam source - Acceleration voltage : 0.5 to 30kV (30 steps or more) - Tungsten type filament (Pre-centered cartridge exchange) 2) Gun Alignment - Manual or Automatic - X-Y electromagnetic deflection 3) Electro-magnetic image shift : Max. ±150㎛ or more 4. Lens system 1) Condenser lens : 2 electromagnetic lens 2) Objective lens : conical Lens 3) Objective lens aperture : 4 holes with 30 / 50 / 100 / 200㎛ diameter 5. Specimen stage 1) Eucentric Stage movement X : 70㎜ or more Y : 50㎜ or more Z : 40㎜ or more R : 360˚(continuous) Tilt : -10˚ ~ +90˚(or more) Eucentric Movement 2) Max. specimen size : 120㎜ diameter or more 6. Signal Detectors : High-sensitive scintillator type SE detector 7. Operation system 1) Operation principle : Graphical user interface (GUI) 2) Control devices : Desktop Control PC - Dual Core CPU & 4GB Memory or more - Mouse & Keyboard operation on PC - OS : Microsoft Windows Vista or more 3) Image Display Unit : 22" |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130805191911.JPG |
| 장비위치주소 | 경기 군포시 금정동 692-8 한국기계전기전자시험연구원 3동 3층 고장분석실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-153738 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030980 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |