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파라미터 어낼라이져

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보유기관명	주성엔지니어링(주)
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	I-V 및 C-V 모두측정 모두를 지원하는 모듈화 방식의 계측기 구성: Source/monitor units 커패시턴스 측정모듈 고전압 펄스발생기모듈 파형발생기/ 고속측정 유닛 모듈 성능: 커패시턴스 측정 고속테스팅 빠른 펄스 측정 xp 사용으로 유저 인터페이스와 편리한 사용방법 반도체 특성을 측정하는 시스템으로서 HP basic 프로그램에 의해서 semiconductor parameter를 측정한다. 반도체 칩은 웨이퍼 위에 트랜지스터 저항 캐패시터 소자등을 층별로 집적해 나가는 과정이며 보통 5∼600개 정도의 공정을 거쳐서 제조된다.이렇게 제작된 소자에 전류와 전압을 인가하여 I-V curve 등의 parameter를 측정하여 소자의 특성을 측정한다. 또한 stress mode를 사용하여 고전압 인가시에 소자에 나타나는 특성 등을 알 수 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110221150444.jpg
장비위치주소	경기 광주시 오포읍능평리 1 ~199 49 주성엔지니어링
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-144586
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028741
첨부파일