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OLED 증착시스템

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보유기관명	한국화학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C512
표준분류명
시설장비 설명	고진공에서 물질의 증발/응축에 의한 표면 코팅하는데 사용하는 장비입니다. 차세대 디스플레이로 각광받는 OLED 및 차세대 태양전지와 같은 광.전 소자 제조에는 상대전극으로 사용할 금속을 매우 얇은 두께로 박막으로 제조할 필요가 있다. 본 장비는 대형의 챔버를 가지고 있어 다수의 시료를 한번에 금속전극을 증착 시키는데 유용하게 사용할 수 있는 기술 장비입니다. 도달압력 10-6 Torr 이하 가열온도 최대 350도 진공조 증발장치 등으로 구성되어진 기술장비입니다OLED 및 태양전지 제조를 위한 금속 전극 제조에 사용하는 기술장비입니다. 금속박막 증착하는데 사용하는 기술장비입니다
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218113527.jpg
장비위치주소	대전 유성구 장동 100 한국화학연구원 1연구동 3층 326
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-143506
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028117
첨부파일