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장비
장비 및 시설 기본정보
터보 펌프
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Alcatel-lucent |
| 모델명 | ATH2300M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 고등광기술연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C610 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | [http://www.adixen.com/press-releases/vacuum-pumps-adixen-ath-2300m-a-very-high-flow-maglev-turbopump-in-a-very-small-package-sizevacuum433ppp.html] Alcatel Vacuum Technology extends its product range by introducing ATH 2300M a very high flow maglev turbopump designed for semiconductor etch processes. The ATH 2300M features 2 000 liters per second performance in a very compact package size. Adixen ATH 2300M is capable of pumping up to 2 000 sccm of argon in order to meet the highest requirements for the 012 micron geometry etching processes. Adixen’s particle reduction technology is featured in the ATH 2300M ATH 1600M ATH 1300M and ATH 400M. These extremely reliable pumps offer high troughput high pressure corrosive gas pumping and are quickly becoming the turbopump of choice in fabs throughout the world. Additionally these pumps feature state of the art technologies which include : - 5 active axes ; the most reliable and proven magnetic bearing technology. - Automatic balancing system for any rotor imbalance compensation. - Integrated heating system up to 75°c to eliminate the condensation of by-products. - Inert gas purge to prevent particle build up. The Adixen Maglev Turbopumps are maintenance free battery free dedicated to metal dielectric or poly etch ion implantation sputtering and plasma deposition.Inlet flange: DN 250 ISO-F Rotational speed (RPM): 31000 Pumping speed N2 (l/s): 2100 Pumping speed H2 (l/s): 1200 Ultimate pressure (mbar): 4 *10-9PW Compressor 진공 챔버에 고진공용 펌프로 사용되고 있음. PW Compressor 안에는 고가의 optics 및 회절광학계가 있음. 고진공으로 유지 안하면 안에 있는 값비싼 광학계의 광학 손상이 발생함. 따라서 고진공으로 항상 유지를 시켜줘야 함. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201107/.thumb/20110728145547.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 1층 117 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-07-146685 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029549 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |