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장비
장비 및 시설 기본정보
건식 스크러버
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코캣 |
| 모델명 | kds-200s |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-09-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)엘디스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C609 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체제조공정에서 발생하는 유해가스 등을 안전하게 처리할 수 있는 흡착식 가스처리장치 흡착제 교체비용 저렴 - 흡착제 자체 개발 및 생산으로 원가 절감 및 신속한 공급 System 완료 Gas 처리 효율 극대화 - 안적적이고 높은 흡착 성능으로 운전비 절감 By-Pass Canister 설치 - By-Pass 상태에서 유해Gas 정상 처리 가능 Canister 내부 온도 감지 장치 - Canister 내부 과열 반응 감지 효율적인 압력 관리 - Inlet Pressure Warning Alarm Interlock 장치 TFT Touch Monitor 및 PLC 장착 - 전체 System 자동화 및 손쉬운 조작 기능 제공 Compactly Design - 적은 설치 면적 System 간편화 - 유지보수 용이 함 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110127140035.JPG |
| 장비위치주소 | 경기도 수원시 영통구 이의동 936-10 나노소자특화팹센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-139083 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024906 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |