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장비
장비 및 시설 기본정보
스핀 클리닝 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 네온테크 |
| 모델명 | NSD-120 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-03-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)코썸사이언스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | NSD 시리즈는 다이싱 공정에서 발생되는 모든 오염원을 다이싱 직후 가능한 빨리 제거할 수 있도록 D.I Water 또는 다양한 화학약품 또는 강한 공기압력으로 세척 및 건조하는 장비입니다. 본 장비는 가동부인 Door 부와 스핀들 부 그리고 프레임 부위로 나뉘어져 있으며 클리닝 공정의 환경을 고려하여 주요 부위가 스테인리스 재질로 제작되어 있습니다. 프레임구조는 각강관의 용접 프레임에 스테인리스 워터케이스를 얹고 그 위에 진동방지장치와 스핀들이 설치되어 있으며 상부로 아크릴커버가 작업물의 2차 오염을 방지하도록 설계되어 있습니다. -12인치 웨이퍼용 -수동 로딩 및 언로딩 -진공척 및 링프레임 클립을 사용하여 자재 부착 -최대 3000rpm 회전속도 -Water/Rinse/Air/Spin 총 4가지 ㅅ척모드 -각 스텝별 0~999초 세척시간 지정가능 -최대 7스텝 세척 모드 지정가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110211103101.jpg |
| 장비위치주소 | 인천시 부평구 청천동 425 우림라이온스밸리 C동 1203B호 (주)코썸사이언스 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-140507 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0026217 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |