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장비
장비 및 시설 기본정보
수소정제기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 원익아이피에스 |
| 모델명 | ACG-H-050 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-04-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B310 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 수소가스 정제장치 - 순도가 낮은 수소를 순도가 높은 수소로 정제하기 위한 시스템으로서 고순도 정제된 수소는 process가 진행되는 많은 부분에 사용됨 - 99.999 이상의 순도로 정제 가능함ㅇReactor 형태 : Horizontal Quartz reactor ㅇSusceptor : Graphite susceptor ㅇGlove box : Achievable gas purity 1 ppm H2O and O2 ㅇRotation wafer : 1 satellite disk 1 susceptor controlled with H2 ㅇMO-source line : TMGa TMAl TMIn ㅇHydride line : AsH3 PH3 ㅇDopant line : Si2H6 DeZn Cp2Fe |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131010142357455.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 본부동 1층 옥외가스룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-139877 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023577 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |