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장비
장비 및 시설 기본정보
열전계방사형주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JSM-7600F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고해상도를 요구하는 박막재료 반도체재료의 국부 영역의 상관찰 In-Lens Thermal FEG Ultrahigh resolution comparable to the cold cathode FE-SEM 에너지 절약 ECO design Gentle Beam mode SEI resolution 1.5 nm (1 kV) in GB mode 1.0 nm (15 kV) Magnification 25 to 1000000x (printed as a 120mm x 90mm micrograph) Accelerating voltage 0.1 to 30 kV Beam current 1 pA to 200 nA at 15 kV Aperture angle control lens Integrated Detector Upper and lower detectors Energy Filter New r-filter Gentle beam Integrated Digital images 1280 x 960 2560 x 1920 5120 x 3840 Specimen exchange chamber Single step loading/unloading Specimen stage Eucentric 5 axis motor drive |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126093442.JPG |
| 장비위치주소 | 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 지하1층 81B101 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-137399 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024233 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |