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비접촉 3차원나노형상 측정기

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보유기관명	한양대학교 ERICA캠퍼스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F201
표준분류명
시설장비 설명	비접촉 3차원 나노형상 측정기 나노시스템/ NV-P2020 특징 : 위상 간섭 원리를 응용하여 반도체나 디스플레이 박막의 두께 및 3차원 형상을 측정하는 장비입니다․측정가능두께:최소1nm~최대 180um ․두께 측정 분해능: 0.1~0.5nm(depending on the measurement method) ․측정가능 시편크기:200×200mm.- 본 장비는 광위상 간섭 원리를 응용하여 반도체나 디스플레이 박막의 두께 및 3차원 형상을 측정하는 장비임 - 나노미터의 측정 정확도를 가지고 있어 반도체나 디스플레이 박막 뿐만 아니라 MEMS PCB 및 각종 정밀 기계가공물의 표면 형상 측정 및 분석에도 이용할 수 있음. - 현재 본 장비는 반도체 및 디스플레이 관련 대기업에 다수 납품되고 있으나 장비가 고가이기 때문에 중소기업을 위해서 유용하게 쓰일 것으로 추측됨
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130822133448539.jpg
장비위치주소	경기 안산시 상록구 사3동 한양대학교 1271번지 한양대학교 안산캠퍼스 학연산클러스터지원센터 1층 111
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-134889
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022400
첨부파일