장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

엑스선 광전자 분광계

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B500
표준분류명
시설장비 설명	XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)와 UPS (Ultraviolet photoelectron spectroscopy)가 결합된 ESCA 시스템 표면의 원소의 정량분석 및 화학분석 가능 고체 표면/계면의 전자구조 분석 초고진공 펌핑시스템으로 압력은 10(-10) Torr 유지. Load lock을 개조하여 in-situ deposition system (preparation chamber)을 장착하여 시료를 공기중에 노출하지 않고 분석이 가능함 전자분석기 노후화에 따라 2010년 새로운 분석기로 교체함 시료는 Ar+ sputtering annealing (800도까지)으로 전처리 가능함 Load lock chamger에 UV-ozone 처리장치 추가함 현재 Monochromatic x-ray source 고장으로 인해 사용불가. Dual anode source 만 사용 가능
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110117165039.JPG
장비위치주소	대전광역시 유성구 가정로 209 신소재동(301)
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-141623
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022117
첨부파일