| 보유기관명 |
LG디스플레이(주) |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C524 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
이장비의 명칭은 slit coater이며 장비의 구성은 약액부gentry부nozzle부 stage부폐액부 배기부전장부등으로 구성이되어있다.
약액부는 약액을 loading하고 탈포를 진행하는 부분으로써 coating시발생할수있는 기포를 미리 제거함으로써 양질의 coating막을 얻는데 중추적역할을 담당하는 기구부이며 gentry/nozzle부는 탈포가 진행된 약액을 이동/보관하여 gentry가 glass장축면을 따라 이동하면서 coating을 담당하게 되고 이때 nozzle부에서 일정압으로 약액을 토출시켜서 coating을 진행하게 된다. 이장비 nozzle부의 lip과 sim의 uniform한 가공이 이 장비의 외관상 핵심 기술이며 토출압 gentry이동속도 nozzle의 높이를 제어하여 약액의 종류에 따라 원하는 막을 얻을수 있게된다. 그외에 폐액부 배기부는 안전상필요한 utility이며 전장부는 장비에 전원을 공급해주기 위한 부분이된다. 이 장비의 핵심 기술은 약액부와 nozzle부의 가공 및 제어기술이다. 현재 장비는 setup이 완료가 된 상태이이며 현재 약액을 코팅하여 flexible한 막을 얻고있는 중이다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110113130901.jpg |
| 장비위치주소 |
경기도 파주시 월롱면 1007번지 LG디스플레이 모듈동 6F 연구센터 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-01-132832 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0021700 |
| 첨부파일 |
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