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평행광 노광기

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보유기관명	금호전기(주)
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명
시설장비 설명	* 목 적 * -. ITO Glass 아노드 형광막 등을 패터닝 하기 위한 장비임. -. 고효율 아노드 제작을 위해서 필수 장비임. -. 감광성유리 공법 초정밀 금속 구조체 각종 포토공정에는 평행광노광기가 필요하다. 평행광노광기는 자외선램프에서 나온 빛을 광학계를 이용하여 평행하게 조사하는 장치이다. 광원과 피사체가 멀리 있으면 평행광에 근접한다.* 장비 사양 * -. 방 식 : UV 램프 조사 15인치 유리 기판 메뉴얼 작동 (타이머 기능) -. 유효노광면적 : 평판형 유리 40인치 x 40인치 유리 두께 0.5 ~ 0.3t -. UV-Lamp : 2KW급 이상 평행광 램프 -. 노광 균일도 : 광원 균일도 (5% 이내) 노광 균일도 (3% 이내) -. Scope : Micro Vision (90~400배 이상) -. 노광 해상도 : 선과 선의 간격 3um까지 패턴성 확보 -. Chuck/Frame : Vacuum Substrate Soft Contact Mode Gap 조절가능 클린룸용 재질 -. Control/Power/Utility : Semi-Auto 얼라인 N2 Air 220V/삼(단)상
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110117192550.jpg
장비위치주소	경기도 화성시 병점동 690 종합기술원
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-133906
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022171
첨부파일