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플라즈마 화학증착 설비 (측정 module)

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보유기관명	한국항공대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명
시설장비 설명	특징 : Glow 방전을 통한 반응 물질의 생성으로 막 표면에서 흡착과 확산이 일어나 표면 결합의 활성화와 생성 기체의 증착 구성 및 성능 : Process module 6. 사 양 ․System Dimension - 750(w) X 650(d) X 1150(h) ․Plasma Source Assembly - Capacitively coupled plasma Plasma Density: 10^9/Cm³(Ar 500 mTorr) - RF Generator & Matching Network 13.56 MHz 600 W ․Chamber - Square Type 285mm(w) X 335mm(d) - Substrate(185mm(w) X 235mm(d)) with Heater ․System - Gas Distribution Plate ․V/I Probe - Frequency Range: 300 kHz ~ 100 MHz - Voltage rating: 10 kVrms - Current rating: 125 Arms 활용분야 : 박막 증착
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110217145955.jpg
장비위치주소	경기 고양시 덕양구 화전동 한국항공대학교 190번지 한국항공대학교 중소벤처육성지원센터 1층 105호
NFEC 등록번호	NFEC-2010-12-122605
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019625
첨부파일