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장비
장비 및 시설 기본정보
전계방사형 가변진공도 전자주사현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hitachi |
| 모델명 | SU-6600 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (재)포항금속소재산업진흥원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 전자를 0.5kV에서 30kV까지 가속하여 시편의 표면에 충돌시켜서 나오는후방산란 전자 및 X선을 이용하여 FEVP-SEM과 연동하여 EDS를 이용하여 표면의 정성분석이 가능하며 EBSD를 이용하여 결정의 방위 및 구조 분석이 가능한 장비FEVP-SEM - Schottky field emission type electron gun ZrO/W emitter - Accelerating voltage : 0.3 to 30㎸ - Max. probe current : 200nA - SE Detector BSE Detector EDS - LN2 free SDD type EDS(Resolution : 133ev (at MnK 60000 CPS) EBSD - EBSD(OIM Data Collection Software)금속 및 비금속 의 표면 형상 분석 및 성분분석 및 결정방위 분석 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111026160211.JPG |
| 장비위치주소 | 경북 포항시 남구 지곡동 166-5번지 포항금속소재산업진흥원 전자현미경실 1층 111 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-127788 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0020087 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |