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이온집속빔시스템

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보유기관명	가천대학교 글로벌캠퍼스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	특징 이온빔을 이용하여 샘플의 표면을 식각 또는 2차 이온 이미지를 관찰할 수 있다.사양 1) Schottky type UHR FE-SEM 2) Magnum Ion Column 3) Gas Injection System 4) STEM 5) EDX 6) Auto TEM Sample S/W 성능 1) Image View (Secondary Ion Image Secondary Electron Image) 2) Cutting (Cross section 관찰 TEM Sample Preperation) 3) Deposition (Source : Platinum Insulator) 4) SPI 5)가속전압:30kV활용분야 1)샘플의 식각을 통한 단면 관찰 2)TEM시편 제작 3)2차 이온 이미징 4)Pt증착을 이용한 패턴 형성
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111024163024.JPG
장비위치주소	경기 성남시 수정구 복정동 산 65-2 가천대학교 글로벌캠퍼스 새롬관 1층 116
NFEC 등록번호	NFEC-2010-12-128883
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0020229
첨부파일