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장비
장비 및 시설 기본정보
시편절단기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | STRUERS |
| 모델명 | Target System |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험·검사장비 |
| 시설장비 설명 | 동작원리 : 절단한 웨이퍼 시편이나 기타 다른 시편의 절단면을 깨끗이 해서 관찰하기 위해 이 장비를 사용함. 시편이 홀더에서 떨어지지 않게 잘 접착한 후에 기준점을 잡아주고, 얼마나 갈아낼 것인지 레시피를 작성하고 장비를 동작시키면 회전하는 사포에 시편을 갖다대서 표면을 갈아냄. 총 5단계의 사포를 거쳐서 표면을 깨끗이 하는데, 각 단계마다 레이저로 시편의 높이를 측정해서 처음에 지정한 높이와의 차이가 줄어듦을 인지해서 공정이 완료됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/EEos79gGg4qeSjXyxn6S_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울테크노파크 310호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-129733 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00014 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |