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장비
장비 및 시설 기본정보
전계방출주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ept Steckverbinder |
| 모델명 | Robinson detector |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국나노기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - 시료의 표면 및 단면 형상을 관찰한다 ==========================================================================구성및성능 - Image resolution 5.0nm or better @ 1kV 1.5nm or better @ 10kV or more - Accelerating voltage: 1kV ~ 30kV - Probe current: Maximum 1nA or more - E-gun type : Schottky field emission - Electron detector SE(Secondary Electron) detector for high resolution BSE(Back Scattered Electron) detector for compositional contrasts - Sample stage Movement axis : 5 axis (X Y Z T R) Movement control : motor-drive for 2 axis(XY) AC40활용분야 Sample의 표면 및 단면 image 분석 ====================================================================== |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110830165316.jpg |
| 장비위치주소 | 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (이의동) 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 지하1층 특성평가실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-078984 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017537 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |