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장비
장비 및 시설 기본정보
6인치 track
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스브이에스 |
| 모델명 | MSX1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-12-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)엠투엔 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 6인치 PR Track구성및성능 6인치 track (1512 7220 151N)활용분야 멤스 공정 포토 3개 hot plate 2개 coater Robort control Recipe programable |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201111/.thumb/20111130141158.jpg |
| 장비위치주소 | 용인 사업장 clean room |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-074765 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0016300 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |