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진공증착장치

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보유기관명	전북대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명
시설장비 설명	금속 증착1) 웨이퍼 크기 : Piece 2" ~ 6" 2) 증착 물질: Au AuGe Ni Al 3) 두께: several thousands Å ~ several um 4) 두께 균일도: ≤±3.0% 5) 최고 도달 압력: < 5.0×10-7Torr (누설율 : < 5×10-9 Torr•L/s) 6) 펌핑 시스템 : 터보 펌핑 시스템(Turbo molecular pumping system) 7) 프로세스 챔버 : Front Door Type (SUS304) 8) 써멀 보트(Thermal boat) : 텅스텐 보트 3개 9) 기판 홀더: 회전(0∼30 rpm) 히팅(300℃) 10) 진공 게이지 11) 두께 측정기 12) 시스템 컨트롤 : 세미 오토 방식 1. EXTER ON/OFF:1 contact 2. Detect V. detect: 0.0 ~ 199.0V C. detect: 0.0 ~ 500.0A(CT:500:1 5VA) 3. remote control:0 ~ 5VDC 0~ 20mA 4. O.C.P: Maximum current 6. O.H.P: 70 Dgree -Dimension : 108mm * 300mm 127mm(WDH) -Weight: 4kg메탈증착
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/1177961445_1.jpg
장비위치주소	전북 전주시 덕진구 덕진동1가 전북대학교 664-14 전북대학교 반도체공정연구센터
NFEC 등록번호	NFEC-2007-10-012594
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0016704
첨부파일