장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

프로버

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국나노기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	광반도체 소자의 전기적 광학적 특성을 측정하는 장치이다. 프로버(Prober) : 웨이퍼를 자유롭게 이동할 수 있어서 웨이퍼의 칩들이 자동적으로 테스트하여 양품/불량품으로 자동 분류하여 주는 보조 테스트 시스템ㆍWafer size : 2inch ~ 6inch ㆍWafer type : Vertical type LED Lateral type LED ㆍWavelength : Wavelength : 200nm~950nm ㆍTact time : Max. 0.3sec/chipLED wafer 및 chip의 광학적 전기적 특성을 할 수 있다. Semi automatic 측정 장치로써 Tact time이 빠르기 때문에 wafer 전체를 측정하여 각 chip들의 특성을 확인할 수 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110901175405.jpg
장비위치주소	경기도 수원시 영통구 광교로 109 (이의동) 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 2층 후공정
NFEC 등록번호	NFEC-2009-10-079106
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017646
첨부파일