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장비
장비 및 시설 기본정보
스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | ST5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광운대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 타겟에 플라스마를 형성하여 발생된 물질을 기판에 증착하는 장비구성및성능 1. Main Processing Chamber 2. Loadlock Chamber with Transfer Module 3. Film uniformity : ± 3 % 이내 4. DC Source 4ea RF Source 3ea활용분야 박막 증착 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/20131105112354738.jpg |
| 장비위치주소 | 서울시 노원구 광운길(월계동447-1) 옥의관/옥B101 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-081605 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014262 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |