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12인치 수동 측정 스테이션

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	특징 반도체 나노 LCD LED MEMES 등 전기 전자회로의 미세한 회로에 전기를 인가하여 회로의 특성(전기적 전자적 물질적)등을 현미경 EYEPIECE 또는 CCD CAMERA MONITOR로 회로를 확인 후 정밀한 LOW NOISE PROBE HOLDER로 미세하게 CONTACT를 하여 전기적 측정을 할 수 있도록 해주는 측정기기임. 또한 측정하고자 하는 소자의 온도를 -50C- +200C까지 조절할 수 있도록 Chuck의 온도를 조절할 수 있음.구성및성능 1. N2 Moisture Dark/shielding Measurement Probing System 2. Microscoope Micro Zoom 225X 3. Positioner body - High Resolution 4. Probe Holder Ctype 5. Probe tip 6. Vacuum pump 7. Dark/shiled Box Dual door 8. Hot chuck Controller and cooling chiller controller
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/20140424172651876.jpg
장비위치주소	광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 신소재공학동 2층 204
NFEC 등록번호	NFEC-2010-04-078883
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017495
첨부파일