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장비
장비 및 시설 기본정보
회전 코팅기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cookson |
| 모델명 | P6712 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2001-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 순천향대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Speed in RPM : 100～8000 rpm Material : SUS 304 Program storage : 20 program 4 steps Vacuum chuck type : Φ4 Φ1/4photoresist 도포Patterning 공정 중 단위공정인 미세 patterns 형성을 위한 감광액 도포 장비 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200809/.thumb/20080909094306.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 신창면 읍내리 순천향대학교 646번지 순천향대학교 산학협력관 5층 515호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-066878 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014608 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |