고주파 스파트링 장치
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한국진공(주) |
| 모델명 | KVS-C153 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1993-03-02 |
| 취득금액 |
| 보유기관명 | 부산대학교 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702058278.jpg |
| 장비위치주소 | 플라즈마 및 레이저 실험실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-07-026580 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012748 |
| 첨부파일 |
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |